高（gāo）性能實驗（yàn）室和 QA 係統
高端 MarSurf WI 100 儀器具（jù）有 xyz 方向的擴展工作區，特別適合大（dà）樣本量（liàng）：隻需按下（xià）用（yòng）於移動額外的手動 Z 軸和（hé）測（cè）量 XXL 組件的側調整（zhěng）即可。
MarSurf WI 100 有堅固的結構， 適合在測試實驗室中使（shǐ）用和生產（chǎn）環境中的質量保證工（gōng）作。
| MarSurf WI 100 | 項目號 6355002 | |
|---|---|
| 分辨率 | 最大 0.2 (nm) 垂直 |
| 測量速度 | 最大 140fps |
| 測量原則 | White light interferometer High-power LED (650 nm / white) |
| 其他 | Collision detection in xyz direction |
| 提供的電源 | 100 - 240 V |
| 表麵參數 | ISO 4287, ISO 13565, ISO 25178 … |
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