一、產品簡介

　　SuperView W1-Pro光學（xué）3D表麵輪廓儀是一款用於對各種精密器件及材料表麵（miàn）進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白（bái）光幹涉技術（shù）為原理、結合精密Z向掃描（miáo）模塊、3D 建模算法等對器件表麵（miàn）進行非接觸式掃描並（bìng）建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器（qì）件（jiàn）表麵3D圖像進行數據（jù）處理與分析，並獲取反（fǎn）映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器（qì）件表麵形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於（yú）半導體製造及封裝工（gōng）藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件（jiàn）、光學加工、微納材料及製造、汽車零部（bù）件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域（yù）中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射（shè）率到高反射率的物體表麵，從納（nà）米到微米級別工件的粗糙（cāo）度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等（děng），提供依據（jù）ISO/ASME/EUR/GBT四大國（guó）內外標準共計300餘（yú）種（zhǒng）2D、3D參數（shù）作為評價標準。

二、產品功能

1.係統（tǒng）光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2.測量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合（hé）VSI和PSI的自適應通用測量模（mó）式（USI）

3.多區域自動分（fèn）析：自動獲取圖案化形貌區（qū）域（yù）的三維信息（高度、寬度、麵積（jī）、體（tǐ）積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統（tǒng）計分析功能（néng）。

4.一體化操作的測量與分析軟件，操（cāo）作無（wú）須進行（háng）切換界麵，預先設置好配置參（cān）數再進行測量，軟件自動統計測量數據並提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。

5.測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自（zì）動調亮度等自動化功能。

6.測（cè）量中提供拚接測（cè）量功能（néng）。

7.分析中提供調整位置、糾正、濾（lǜ）波、提取四大模塊的數據處理功能（néng），其中（zhōng）調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾（jiū）正包括空間（jiān）濾波、修描、尖（jiān）峰去噪（zào）等功能；濾波包括去（qù）除外形、標準濾波（bō）、過濾（lǜ）頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖麵等功能。

8.分析中提供粗（cū）糙度分（fèn）析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分（fèn）析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178麵粗糙度、ISO12781平整度等（děng）全參數分析功能；幾何輪（lún）廓（kuò）分（fèn）析（xī）包（bāo）括台階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位（wèi）公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積（jī）和波穀深度等；頻率分析包括紋理方（fāng）向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數（shù）和體積參數等（děng）功能。

9.分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器（qì）件的批量測量並直（zhí）接獲（huò）取分析數據的功能。

三、應用領域

　　對各（gè）種產品（pǐn）、部件和材料表麵的（de）平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷（xiàn）、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎（wān）曲變形情況、加工情況等（děng）表麵形貌特征進行測量和分析。

半導體.拋光矽片、減（jiǎn）薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙（cāo）度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨（mò）屏高（gāo）度差
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型（xíng）金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線台階、多刻線粗糙度（dù）

四、應用案例（lì）：

五、樣品測試報告：

　　點擊表（biǎo）格內圖片或文字可查看詳細（xì）報告數據

懇請注意：因市場發展和產（chǎn）品開發（fā）的需要，本產（chǎn）品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改（gǎi），恕不另行通知，不便之處敬請諒解。