一（yī）、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各種（zhǒng）精密器件及材料表麵進行亞納米級測（cè）量的檢測儀器。它是以白光（guāng）幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器（qì）件表麵進行（háng）非（fēi）接觸式掃（sǎo）描並建立表（biǎo）麵3D圖像，通過係統軟件對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映（yìng）器件（jiàn）表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表（biǎo）麵形貌3D測（cè）量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓（kuò）儀可廣泛應用於半（bàn）導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納（nà）材料及製造、汽（qì）車零部件、MEMS器件等超精密加工（gōng）行（háng）業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗（cū）糙、低反射率（lǜ）到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀（guān）幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數（shù）作為評價標準。

二、產品功能

1）係統光源及壽命：雙LED光源（白光和（hé）綠光），10萬小時超（chāo）長壽命，終身無需（xū）更換；

2）測量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合（hé）VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多（duō）區域自動分析：自（zì）動獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動（dòng）統計分析功能。

4）具備各種類型樣品表麵（miàn）微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表麵粗糙度和微觀輪廓（kuò）的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的（de）級別；

6）具（jù）備校平、去除形狀（zhuàng）、去噪、濾波（bō）等數據處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪（lún）廓分析、結構分析（xī）、功能分析等表（biǎo）麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拚接測量等自動（dòng）化功能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快（kuài）速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出（chū）功能。

三、應用領域

　　對各種產品、部（bù）件和材料表麵的平（píng）麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪（lún）廓、表（biǎo）麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階（jiē）高度、彎曲變形情（qíng）況、加工情況等表（biǎo）麵形貌特征進行測量和分析。

應用範例：

半導體（tǐ）.拋光矽片（piàn）、減薄（báo）矽片、晶圓IC
3C電子.藍（lán）寶石（shí）玻璃粗糙度、手機金屬殼模具（jù）瑕疵、手機油墨屏高度差（chà）
超精密加（jiā）工（gōng）.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字（zì）塔型金剛石磁頭	標準（zhǔn）樣塊.單刻線台（tái）階、多刻線（xiàn）粗糙（cāo）度

四、性能（néng）特色

1.高精度、高重複性（xìng）

1）采用光學幹（gàn）涉（shè）技術、精密Z向掃描模（mó）塊和優異的3D重建算法組成測量係統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係統（tǒng），能夠有（yǒu）效隔離頻率（lǜ）2Hz以（yǐ）上絕大部分振動，消除地（dì）麵振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中（zhōng）能穩定使用，獲得極高（gāo）的測量重複性。

2.一體化操作（zuò）的測量分析軟件

1）測量與（yǔ）分析同界麵（miàn）操作，無須切（qiē）換，測量數據自動統計，實現了（le）快（kuài）速批量測量的功能；

2）可視化窗（chuāng）口，便於用戶實時觀察掃（sǎo）描過程；

3）幾何分（fèn）析、粗糙度（dù）分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大（dà）功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多（duō）文件分（fèn）析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，並提供數據（jù）分（fèn）析（xī）與統計圖表功能；

5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多（duō）達300餘種2D、3D參數（shù）。

3.精密操縱手柄（bǐng）

　　集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物台（tái）平（píng）移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙重（chóng）防撞保護（hù）措（cuò）施

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移（yí）下限位進行防撞保護外（wài），另（lìng）在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風（fēng）險。

5.雙通（tōng）道（dào）氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶現場的穩定氣（qì）源（yuán）也可以（yǐ）接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可（kě）穩定工（gōng）作（zuò）。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點（diǎn）擊表格內圖（tú）片或文字可查看詳細報告數據

懇請注意（yì）：因市場發展和產品開發的需要，本（běn）產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處（chù）敬請諒解。