一、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各（gè）種精密器件及材料表麵進行亞納米級測量的檢（jiǎn）測儀器（qì）。它是以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表（biǎo）麵進行非接觸式掃（sǎo）描並建（jiàn）立表麵3D圖（tú）像，通過係統軟件對器（qì）件表麵（miàn）3D圖像（xiàng）進（jìn）行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參（cān）數（shù），從而實現器件表麵形（xíng）貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子（zǐ）玻璃屏及其精密配件、光學加工、微（wēi）納材料（liào）及製造、汽車零部件（jiàn）、MEMS器件等超精（jīng）密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各（gè）類從超光滑到粗糙、低（dī）反射率到高（gāo）反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪（lún）廓、曲率等，提供（gòng）依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標（biāo）準（zhǔn）。

二、產（chǎn）品功能

1）係統光源及壽（shòu）命：雙LED光（guāng）源（白光和綠光），10萬小時超長（zhǎng）壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂（chuí）直掃描幹（gàn）涉模式（VSI），相移幹涉（shè）模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用（yòng）測量模式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖（tú）案（àn）化形貌區域的（de）三（sān）維信息（高度、寬度（dù）、麵積、體積、粗（cū）糙度、傾角等（děng）），同（tóng）時具（jù）有自動統計分析功能。

4）具備各種類型樣品表（biǎo）麵微觀形貌（mào）的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表麵粗糙度（dù）和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具備粗（cū）糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動測量（liàng）、自動多區域測量、自動拚接測量等自（zì）動化功能；

9）具備一（yī）鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

三、應用領（lǐng）域

　　對各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵（miàn）缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形貌特（tè）征進行（háng）測量和分析。

應用（yòng）範例：

半導體.拋光矽片、減薄（báo）矽片（piàn）、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度（dù）、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差（chà）
超精密加（jiā）工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔（tǎ）型金（jīn）剛石磁頭	標準樣塊（kuài）.單刻（kè）線台階、多刻線粗（cū）糙度

四、性（xìng）能特色

1.高精度、高重複性

1）采用光學幹涉技（jì）術、精密Z向掃描模塊和（hé）優異的3D重建算法組成測量係統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵（miàn）振動噪聲和空氣（qì）中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定（dìng）使用（yòng），獲得極高的測量重（chóng）複性。

2.一體化操作的測量分析軟（ruǎn）件

1）測量與分析同界麵操作，無須（xū）切換，測（cè）量（liàng）數據自動統計，實現（xiàn）了快速批量測量的功能（néng）；

2）可視化窗口，便於用戶實時觀察掃描過程；

3）幾何分析、粗糙度分析、結（jié）構分析、頻率分析、功能（néng）分析（xī）五大功能模塊齊全；

4）一鍵分（fèn）析、多文件分析（xī），自（zì）由組合分析項保存為分析模（mó）板，批量（liàng）樣品一鍵分析，並（bìng）提供數（shù）據分析與統計圖表功能；

5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多（duō）達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集成（chéng）X、Y、Z三個方向位移（yí）調整功能的（de）操縱手柄，可快速完（wán）成載物台（tái）平移（yí）、Z向聚焦、找（zhǎo）條紋等測量前工作。

 4.雙重防撞保護措（cuò）施

　　除（chú）初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保（bǎo）護外，另（lìng）在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止（zhǐ）狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作（zuò）風險。

5.雙通（tōng）道氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接（jiē）入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條（tiáo）件下（xià）也可穩定工作。

五、應用（yòng）案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數（shù）據

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